磷烷

 產品名稱:磷烷
產品型號:
產品類型:Ph3
詳細介紹
純度: 99.999%、 99.9998%、 99.9999%
 
在電子氣家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大,是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。 PH3 ,易燃、易爆、劇毒,其毒性 數為:PEL/TLV 0.3×10, STEL 1×10,LC5020×1O,ZDLH 200×10,屬劇毒危害品。

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